BIRD – Cargas de terminação de RF dielétricas a óleo ultra estáveis

Cargas de terminação de RF dielétricas a óleo ultra estáveis

Para máxima repetibilidade e consistência do processo, as modernas aplicações de plasma requerem regulação e controle precisos da potência de RF. Um componente essencial para garantir o fornecimento de energia de RF preciso e repetível para a câmara é a calibração, regulação e monitoramento do gerador de RF. A Bird agora oferece cargas VSWR ultra-estáveis ​​e baixas para medição rápida e precisa da potência do gerador quando usada com sensores de potência de precisão, como a série Bird 4020. Os modelos Bird® 8865SC13, 8890-300SC13, 8921SC13 e 8931 SC não fornecem apenas VSWR baixo, mas também uma mudança total inferior a 0,1 dB no VSWR em frequências críticas do processo. Não há necessidade de aquecimento da carga ou risco de repetibilidade devido à calibração por diferentes períodos de tempo. Isso pode minimizar os erros associados a essa calibração e controlar uma das variáveis ​​de processo mais críticas